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尽相同。在铬的添加量达到 10.5%时，钢的耐大气腐蚀性能显著增加，但铬含量更高时，
尽管仍可提高耐腐蚀性，但不明显。原因是用铬对钢进行合金化处理时，把表面氧化物
的类型改变成了类似于纯铬金属上形成的表面氧化物。这种紧密粘附的富铬氧化物保护
表面，防止进一步地氧化。这种氧化层极薄，透过它可以看到钢表面的自然光泽，使不
锈钢具有独特的表面。而且，如果损坏了表层，所暴露出的钢表面会和大气反应进行自
我修理，重新形成这种"钝化膜"，继续起保护作用。较好的钢种还含有镍和钼，这可
以进一步改善大气腐蚀性，特别是耐含氯化物大气的腐蚀。
因此本次毕业设计中，选择的管道为316L不锈钢管，其化学成分中不仅含有16%～
18%的铬，还含有钼，镍等元素，耐腐蚀性很强，而且可用于法兰的焊接，在焊接后也
不需要进行退火处理。
2.2.6 隔膜泵
隔膜泵是往复泵的一种，用弹性薄膜，耐腐蚀橡胶或弹性金属片将泵分隔成互不相
通的两部分，分别是被输送液体和活柱存在的区域。这样活柱不与输送的液体接触。活
柱的往复运动通过同侧的介质传递到隔膜上，使隔膜亦作往复运动，从而实现被输送液
体经球形活门吸入和排出。隔膜泵内与被输送液体接触的唯一部件就是球形活门，这易
于制成不受液体侵害的形式。在工业生产中，隔膜泵主要用于输送腐蚀性液体或含有固
体悬浮物的液体。
隔膜泵按其所配执行机构使用的动力，可以分为气动、电动、液动三种，即以压缩
空气为动力源的气动隔膜泵，以电为动力源的电动隔膜泵，以液体介质（如油等）压力
为动力的电液动隔膜泵。另外，按其功能和特性分，还有电磁阀、电子式、智能式、现
场总线型隔膜泵等。隔膜泵的产品类型很多，结构也多种多样，而且还在不断更新和变
化。
本次毕业设计中使用隔膜泵是 070-3型隔膜泵，其优势是绝对干燥无油；使用长寿
命膜片；低震动，低噪音；高可靠性；文护简便；可方便更换膜片和阀门。其用途是用
来抽取不能被污染的气体，利用隔膜泵的特性隔开大气与被抽空间，并对抽取出来的气
体进行检测。
2.3 烘箱选用
烘箱作为高真空获得设备中一个不可缺少的部件，是因为活动于管子或器件内部的
气体分子，是较容易被真空泵抽除的，但吸附在管壁和渗透在管体材料内部的气体则不
易被抽除，要想使这些气体分子从管壁脱附出来或从材料内部解吸扩散出来，就必须对
管体或器件进行加热烘烤以提高气体的逸出能量，使气体分子由材料内部向表面逸出而
后被真空泵抽除，这就是烘箱的作用[14]
，通过加热使气体分子内能增加，提高其活跃程
度，从而能更容易被真空泵抽除，达到高真空的环境。
烘箱组件包括不锈钢管式加热器、不锈钢辐射屏、温控仪等组成[15]
。一个好的烘箱
不仅要能满足烘烤温度的要求，其内壁还要比较光滑，同时密封性能好。同真空管道一
样，烘箱的内壁也会吸附一定量的气体，因此烘箱的内壁必须尽可能的光滑，以此来减
少吸附的气体量。同时由于是高真空且加热器件，在其加热后的形变必须比较小，从而
减少漏气的可能性。又由于烘箱的安放位置在动态图像测试台的台面上，而且在测试前
后都需要由提升机构提升烘箱整体结构，来安放或拿取被测量元件，因此其重量也必须
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