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用高真空获得设备。在本次毕业设计中选择的高真空设备为 FF-160/620C 复合分子泵。
该泵外形如图2.2所示：
图2.2 FF-l60／620C复合分子泵
FF-l60／620C 复合分子泵是一种机械式真空泵，是由涡轮抽气级和盘形牵引压缩级
组合而进行抽气的。对被抽气体无选择性、无记忆效应、操作简单、使用方便。由于对
分子量大的气体具有很高的压缩比，因此在运转过程中，高真空区域不会受到油蒸汽的
1—真空室；2—热偶真空计；3—B-A真空计；4—超高真空阀；
5—涡轮分子泵；6—前级泵；7—电磁阀；8—机械泵
亏染，该泵不需要冷阱和油挡板，即可获得清洁的高真空和超高真空环境。它广泛应用
于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。
该分子泵需要有前级泵提供Pa以下的压强才能进行工作。其主要的特点如下：
1） 高极限真空：整体加工转子，加工精度、装配精度提高，转子强度得到提高，可运
转于更高的工作转速，抽速、极限真空均得到提高；
2） 大抽速：高压强区抽速高（7Pa时，抽速达 130L/s）；
3） 高可靠：性转子强度提高，重量进一步降低，采用陶瓷球轴承，分子泵的运转可靠
性、寿命得到增强；
4） 强抗冲击性：整体加工转子刚度得到提高。抗冲击、防大气突入能力进一步得到提
高；
5） 性能一致性： 转子采用整体加工，克服了分片组装转子所不可避免的级间返流问题。
减少了多个产品间性能的不一致性。
FF-160/620C 主要技术指标如表 2.1所示：
表2.1 FF-160/620C复合分子泵主要技术指标
产品型号 FF-160/620C
进气口法兰 DH160CF DN160LF
抽气速率 L/s（对空气） 600
排气法兰 KF40
使用轴承 精密陶瓷轴承
启动时间（min） <6
额定工作转速（rpm） 36000
冷却方式和水温 水冷，<25℃
安装方式 垂直±5°
环境温度（℃） 5～40
重量（公斤） 29
2.2.2 干泵
无油干泵（如图 2.3 涡旋式干泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气
体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵
同等量级或者接近的机械真空泵。
图 2.3 涡旋式干泵
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气
系统出现了两个急需解决问题：首先是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在
许多情况下会影响产品的质量、数量，增加设备的文护成本。其次，由于某些工艺过程
中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系
统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解
决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的
使用效果。近年来，干泵的技术得到非常迅速的发展，不同类型的干式泵具有各自的特
点，使用时可根据不同的用途加以选择。容积式的干泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵等，
它们的极限压力一般为 0.1～10Pa。动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧
与大气相接, 在连续流状态下压缩比较高。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结
构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为 10-2Pa。
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