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对于烘箱开阖结构简单而直接的提升机构方案。
在设计动态图像测试台的台架机构时，根据测试台的设计目标，首先对测试台进行
整体结构的把握，注意整个测试台的平稳，并且要保证台架的尺寸能让各个零件或部件
之间的位置互不干涉，方便与装配与固定，而且能保证一些零件的平稳运行，并能尽量
减小占地面积。
当各个零件选择完成后，则开始对零件进行三文造型，通过 Solidworks2010 三文造
型的优势，首先对各个零件进行三文造型。然后根据零件之间的装配关系，把各个零件
装配成测试台的各个部件，最后把部件装配到测试台的主体机构上，完成装配。最后根
据三文零件图与装配图，生成工程图，完成设计任务。
2 动态图像测试台设计的总体方案
2.1 真空系统的概念
用于满足某种工艺要求，能够获得并测量有特定要求真空度的系统称为真空系统[8]
。
真空系统由真空泵、真空计、被抽容器及其他元件如真空阀门、冷井等，借助于真空管
道，按一定要求组合而成，并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是在指定的时间、
空间内获得真空，保持真空，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施。真空的组成
系统多种多样，但基本机构大致相同，一个比较完善的真空系统由下列元件组成：抽气
设备、真空阀门、真空连接管道、真空测量装置与其他元件等。
真空系统按其工作压力进行分类可分为：1）粗真空系统（工作压力大于 1330Pa）；
2）低真空系统（工作压力为 1330～0.13Pa）；3）高真空系统（工作压力为 0.13～1.3³
10-6
Pa）；4）超高真空系统（工作压力为 1.3³10-6
～1.3³10-10
Pa）；5）极高真空系统（工
作压力低于 1.3³10-10
Pa）[11]
。而按真空系统所要求的清洁度可分为有油和无油系统两
种，由真空油扩散泵作为主泵组成的系统为有油真空系统（真空室有油蒸汽污染），由
冷阴极溅射离子泵或涡轮分子泵作为主泵组成的系统一般陈为无油真空系统（真空室无
油蒸汽污染）。由于随着科技的发展以及对于产品要求的提高，能获得洁净真空环境的
无油真空系统正在被越来越多的行业使用。
2.2 真空系统设计
真空系统中真空获得设备是其中的核心部件，而最为常用的真空获得设备就是真空
泵。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和文持真空的装置。真空泵可定
义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件
或设备[12]
。
真空泵可分为机械泵与非机械泵。机械泵可以分为变容真空泵与动量传输泵。普通
的变容机械泵，例如往复式真空泵、液环真空泵、干式真空泵只能获得低真空环境，如
果需要获得高真空、超高真空，甚至极高真空的环境，则需要动量传输泵中的分子泵等
高真空设备来实现。但是高真空设备由于其结构与性能的限制，无法在大气下启动，因
而需要次级的机械泵的辅助来达到启动压强，才能获得高真空环境。而在一些高真空以
及跟高要求的真空环境下，在常温下难以达到真空度的要求，因此需要烘箱设备来辅助。
下图 2.1为一个典型的超高真空系统——涡轮分子泵超高真空系统的结构图[11]
图2.1 涡轮分子泵超高真空系统
2.2.1 FF-160/620C 分子泵
由于动态图像测试台在测试时需要将测试件放在高真空的环境中进行，因而需要使
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