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倍增器，因其具有比传统打拿极结构的光电器件更优越的性能[2]
，其应用前景十分宽阔。
正因为微通道板与光电倍增管广阔的应用前景，其性能测试也成了其制造过程中一个十
分重要的环节。由于微通道板与光电倍增管的高灵敏度，测试必须在高真空的环境中进
行，本课题正是为了获得测试的高真空环境，而设计的排气台——动态图像测试台。
1.1 真空技术的发展史
真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测
量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空
应用四个方面。在真空技术发展中，这四个方面的技术是相互促进的。
远在 1643 年，意大利物理学家托里拆利发现，真空和自然空间有大气和大气压力
存在。他将一根一端封闭的长玻璃管灌满汞，并倒立于汞槽中时，发现管中汞面下降，
直至与管外的汞面相差 76 厘米时为止。托里拆利认为，玻璃管汞面上的空间是真空，
76厘米高的汞柱是因为存在大气压力的缘故， 从此人们开始就了对于真空的探索与研究。
1650 年，德国的盖利克制成活塞真空泵。1654 年，他在马德堡进行了著名的马德
堡半球试验。这个著名的试验又一次证明，空间有大气存在，且大气有巨大的压力。为
了纪念托里拆利在科学上的重大发现和贡献，以往习用的真空压力单位就是用他的名字
命名的。
19世纪中后期，英国工业革命的成功，促进了生产力和科学实验发展，同时也推动
了真空技术的发展。1850 年和 1865 年，先后发明了汞柱真空泵和汞滴真空泵，从而研
制成了白炽灯泡、阴极射线管、杜瓦瓶和压缩式真空计。压缩式真空计的应用首次使低
压力的测量成为可能。
20 世纪初，真空电子管出现，促使真空技术向高真空发展。1935～1937 年发明了
气镇真空泵、油扩散泵和冷阴极电离计。这些成果和 1906 年制成的皮拉尼真空计至今
仍为大多数真空系统所常用。
1940 年以后，真空应用扩大到核研究、真空冶金、真空镀膜和冷冻干燥等方面，真本科
空技术开始成为一个独立的学科。第二次世界大战期间，原子物理试验的需要和通信对
高质量电真空器件的需要，又进一步促进了真空技术的发展。
随着真空获得技术的发展，真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空
应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或
设备，如灯泡、电子管和加速器等。这些产品在使用期间始终保持真空；而另一些则仅
把真空当作生产中的一个步骤，最后产品在大气环境下使用。
1.2 高真空获得设备的国内外现状
1.3 三文造型技术
传统的机械设计是由设计者先在头脑中构思出产品的三文形状，再共通过想象其几
何投影，最后表述在二文图上。随着计算机辅助设计（CAD）技术的不断深入，CAD
系统不断的改进和技术上的突破，其强大的功能使得 CAD 在当今的各大行业中已经享
有了核心地位[6]
。渐渐地二文CAD技术已经远不能满足设计的需要，三文 CAD软件已
经广泛赢得了设计者的青睐。
现代的三文造型技能在计算机内部完成并唯一地表示物理对象的几何形状。该技术
使设计者能够对复杂的技术结构进行几近真实的描述和研究，并且三文模型生成后可以
转变为多个视图，对三文模型的任何修改将自动反应到相应的视图上，不仅如此三文模
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