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    摘要：本文主要以设计PVD涂层设备中装夹刀具的装夹装置为主，并设计由电机到夹具的传动线路。本文从刀具夹具，装夹旋转装置，装载小车，减速箱，及电机选择等几个方面，较为系统的将PVD设备工作时的原理和过程展现出来。在旋转装置上，采用行星齿轮传动的方法，设计为一个太阳轮带动八个行星轮，在满足炉腔的空间结构和靶材的工作规律的基础上，尽可能的利用好资源，来获取更大的收益。其次在减速器的选择上，采用二级圆柱斜齿轮减速器，最后则采用Y132S-8三相Y型笼型异步电动机来提供动力，从而确定整条传动系统。另外本文还设计了一款可升降的小车，来方便装夹夹具装置的安装和安置。36035
    毕业论文关键词：行星齿轮；减速箱；PVD；电动机；传动系统
    PVD coating fixture design
    Abstract: This text mainly design of PVD coating equipment containing clip tool clamping device,and design by the motor to the fixture of the transmission line.This txet In terms of the tool fixture, clamping device and loaded wagon, reducer, and motor selection,Describes the PVD equipment principle of work.In the rotating device,adopt the method of planetary gear transmission,design for a sun wheel drive eight planets round,base onthe furnace chamber of the spatial structure and the work of target material law, on the basis of as much as possible, make good use of the source, to obtain greater benefits.Secondly on the choice of gear reducer,adopt two-stage cylindrical helical gear reducer。Finally, the Y132S - 8 three-phase Y type cage type asynchronous motor to provide power To determine the whole transmission system.The text also designed a drop of the car, to facilitate the installation of the clamping fixture and resettlement.
    Keywords:Planetary gear；reducer；PVD；motor；The transmission system
    目录
    摘要
    Abstract
    引言    1
    1、概述    2
    1.1PVD技术    2
    1.2 PVD涂层设备的组成    3
    1.3 PVD技术未来发展趋势    3
    1.4我校在该领域取得的成就和研究方向    3
    2、原始数据及条件    5
    3、传动系统总体设计方案    6
    3.1 传动系统设计的几个注意点    6
    3.2 传动系统的拟定和简图    6
    3.3 电动机的选择    7
    3.3.1电动机选型    7
    3.3.2 电动机的功率计算    7
    3.3.3 电动机基本参数及简图    8
    4、V带传动设计    9
    4.1 设计计算步骤    9
    4.2 带传动的计算结果    11
    4.3 带轮的结构设计    11
    5、减速器的设计    14
    5.1减速器的介绍    14
    5.2 减速器的基本结构    14
    5.3 减速器传动比分配    15
    5.4 计算运动参数和动力参数    15
    5.5 齿轮传动计算    17
    5.5.1 高速级齿轮传动计算    17
    5.5.2 低速级齿轮传动计算    22
    5.6轴的结构设计及校核    26
    5.6.1 高速轴的机构设计与计算    27
    5.6.2 中间轴的机构设计与计算    32
    5.6.3 低速轴的机构设计与计算    37
    5.7轴承的选择及校核    42
    5.7.1轴承的选择    42
    5.7.2轴承的校核    42
    6、箱体的结构设计以及润滑密封    44
    6.1 箱体的结构设计    44
    6.2 轴承的密封    45
    6.3 减速器润滑方式    45
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