低惯性电机的应用,精密机械加工,转动部分的滚珠轴承化,能使卷径1m重一吨的卷料开机后20秒达到正常工作速度、10秒内完全停机。国外有的设备可实现对厚度9um薄膜进行高速镀膜和精确地卷取,这在真空中摩擦系数较大、基材受热变形的状况下是有一定难度的。
不同厂家生产的卷绕式真空镀膜设备,驱动直流电机有的是3台,有的是4台。前者厂家认为,只要设备加工精度高,3台完全可以满足张力控制和卷取质量要求。而后者认为,为提高厚度薄膜的张力控制和卷取质量则应该4台电机,第4台直流电机位置见图3,此外,伽利略公司生产的CDL型镀膜机设有两组蒸发系统、两个冷却辊,可进行单面双层镀膜(见图1.8)。德国莱宝公司也生产了两组蒸发系统和冷却辊的真空镀膜机,它设计的辊可以通过穿带方式变化,实现基材正反面的镀膜,以及单面镀膜后镀膜面子卷取中的朝向调整。
国外生产包装装潢材料的卷绕式真空镀膜机的镀膜材料和蒸发源主要有两种:即电阻舟皿式蒸发器和高频感应坩埚,现在欧洲厂家多采用前种加热方式。舟皿材料为氮化硼、氮化钛和氮化铝等,用粉末冶金方法压制烧结而成,寿命大约30小时,常用皿尺寸为115X24X10mm,电压9~15伏,电流300~500安培,每个蒸发皿供给电源9KVA,蒸发率6~8g/min.如幅宽2.45m的设备中,最多可使用26个蒸发皿,总耗电量为288kW。用一台和几台马达驱动连续送丝机构,如用铝丝制成直径1.5mm并卷成一定规格盘状,送丝速度为600~1000mmmin,速度精度为1%,对每个皿可进行单独的停、开控制,并都有电流表安装在操作台;还有较先进的,即在线测镀膜厚系统和送丝系统中组成自动控制闭环系统,使膜厚均匀度误差可以从10%提高到5%。日本生产两种蒸发热源的镀膜机,但重点是生产两种蒸发热源的镀膜机,但重点是生产精制不黑坩埚,用高频感应加热蒸发,高频发电机产生高频电源。如镀幅宽1m的设备,使用直径120mm的不黑坩埚6个,坩埚加料一次,限制了长时间蒸发,但蒸发平稳,飞溅少。高频电源为10KHz、100Kw。下表(见下页)是将国外两种不同加热方法的主要性能进行的比较(以幅宽1m为例)。
表1.8 电阻法与感应法比较
项目 电阻法 感应法
单个蒸发器蒸发面积 18 ~ 27 cm2 73一78 cm2
蒸发器温度 1400 ~ 1550℃ 1450℃
蒸发速率 03~179/sec 19 ~ 29/sec
蒸发器寿命 约23 次 20 ~ 26 次
升温时间 3 ~ 5 分 15 ~ 20 分
单个蒸发器功率 5 ~ 7 K w 9 ~ 10 K w
蒸发材料成膜率 约6 0 % 约5 0 %
一次镀膜长度 连续给料不受限制 一次加料约2000m
蒸发稳定性 不够稳定 较稳定
对电网影响 没有 较大
2课题研究可行性
2.1 技术参数
表2.1 技术参数
极限真空(空载、干燥、洁净): 7x10﹣³Pa
最大可镀幅宽 1400-2500mm
最大卷径直径 800-1000mm
最大卷绕直径 840m/min
最大消耗功率 135KW
2.2卷绕式真空镀膜机的整体结构
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