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      2.5.1方案的初步拟定    15
      2.5.2方案的比较    15
      2.5.3设计方案的确定    17
    3主要设计计算以及电机选择计算    18
     3.1系统设计    18
      3.1.1 放膜/收膜时张力F和卷径D的关系:    18
     3.2卷绕系统中辊轴之间平行度的计算    20
     3.3主轴轴心偏差的计算    21
      3.3.1卷绕室其它各辊轴轴心偏差的统计公差计算    23
     3.4辊轴之间平行度的计算    24
      3.4.1 辊轴的挠度误差    24
     3.5蒸镀主辊与放膜辊之间平行度误差的计算    25
      3.4.1 蒸镀主辊与展平辊之间平行度误差的计算    26
      3.5.1 卷绕系统中各辊轴之间的平行度误差    27
     3.6放膜展平辊的设计    28
      3.6.1 放膜展平辊的设计思路    28
      3.6.2 放膜展平辊的设计    29
      3.6.3张力控制系统的设计    31
      3.6.4冷却系统的设计    32
     3.7力能参数的计算以及电动机选择    33
      3.7.1收卷辊放卷辊的电机选择计算    33
      3.7.2冷却辊的电机选择计算    34
    1.3选题研究的意义
    真空镀膜机应用范围： 1.在硬质涂层中的应用：切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。 2.在防护涂层中的应用：飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。 3.在光学薄膜领域中的应用：增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。 4.在建筑玻璃方面的应用：阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。 5.在太阳能利用领域的应用：太阳能集热管、太阳能电池等。 6.在集成电路制造中的应用：薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。 7.在信息显示领域的应用：液晶屏、等离子屏等。 8.在信息存储领域的应用：磁信息存储、磁光信息存储等。 9.在装饰饰品上的应用：手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。
    日本SHRNCRON
    (新科龙)    日本OPTORUN(先驰)    德国Leyboid Optic(莱宝光学)    
    BMC•700~l80系列箱式真空镀膜机
        NBPF-2型箱式真空镀膜机(DWDM)    A904--A1504 系列箱式真空镀膜机    HVC．900系列箱式真空镀膜机
    SMC．1100型箱式真空镀膜机(D、胁M)
        C．1100型箱式真空镀膜机    APS9O4~1504系列箱式真空镀膜机    
    CES系列连续式真空镀膜机        SYRUS、SYRUS．系列箱式真空镀膜机    

    表1.2 国内主要厂家
    固投南光有限公司    北京北仪    上海曙光机器厂    广东振华
    ZZ5O0--1250系列箱式真空镀膜机    DM 系列箱式真空钢族机    KD 系列箱式真空镀膜机    ZCK系列箱式真空镀膜机
    ZZS500--2200系列箱式真空镀膜机    ZZSX系列箱式真空镀膜机        GX系列箱式真空镀膜机
    与国外厂家同类设备相比，我国生产的设备主要的差距在于：
    1．设备的自动化程度低，光学膜镀层控制精度低，达不到自动控制的要求；
    2．设备的可靠性较差， 电气控制以手动为主，全自动控制较少；
    3．设备的研发落后于镀膜工艺技术的发展和市场的需求。
    1.4.3 在半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域
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