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    摘要微泵在微机械系统医疗机械、电器元件制造和微小型卫星的推进方面应用广泛，有较好的前景。基于智能材料设计而成的微泵装置更易微型化和集成化。智能材料镧改性锆钛酸铅（PLZT)，在高能光束的照射下，可以将光能转化为机械能，具有无电磁干扰和适用远程遥控等优点。本文首先对PLZT材料的光致伸缩特性进行了静态实验研究；在此基础上设计了一种利用PLZT陶瓷材料做为驱动元件的微泵，并对微泵进行了简单的三文建模与相关的理论计算，利用有限元软件做了核心部件的仿真。27259
    关键词  光致伸缩  PLZT陶瓷  微泵  有限元仿真
    毕业论文设计说明书外文摘要
    Title     A design and simulation of micro-pump based on the photostrictive characteristic of PLZT ceramics                                               
    Abstract
    Micro-pump is promising application in micro-electro-mechanial sysrems, medical devices, manufacture of electronic componet and driven of micro-satellite. The micro-pump which is designed based on smart materials is easily microminiaturized and integrated. Lead lanthanum ziconate titanate(PLZT) ceramics iluminated by the ultraviolet light can transform light enery into machannical energy, which has some advantanages,such as remote control and no electromagnetic interference. First, the phptostrictive characteristics of PLZT ceramics are experimentally studied. After that, a micro-pump based on PLZT bimorph is designed. Additionally, 3D modeling and theoretical calculation of micro-pump is carried out. At last,the finite element analysis of the PLZT bimorph is achieved.
    Keywords  phpotostrictive   PLZT Ceramics  micro-pump  FEM simulation
    目 次
    1 引言    2
    1.1研究背景及意义    2
    1.2国内外有关的研究现状    3
    1.3本课题的研究内容    7
    2 PLZT陶瓷光致伸缩特性的研究    7
    2.1PLZT陶瓷的物理性能    7
    2.2 PLZT陶瓷具有的光致伸缩机理和数学模型建立    8
    3光致伸缩微泵的结构设计方案和三文建模    18
    3.1设计方案介绍    18
    3.2方案选择与三文建模    23
    4 光致伸缩微泵核心部件的数值计算与仿真    24
    4.1 关于双晶片式PLZT陶瓷的理论计算    24
    4.2对双晶片式PLZT陶瓷的仿真研究    25
    4.3光致伸缩微泵泵量的分析    27
    结   论    28
     致 谢    29
    参考文献    30
    1 引言
    1.1研究背景及意义
        在科学技术飞速进步的今天，当今机械结构不断朝着“微型化”、“智能化”等方向不断发展，微机电系统（MEMS)应运而生且不断向前发展，在机械微型化的基础上，对机械的要求也就更加严格，在许多微机电系统中都可以看到智能材料的身影，它们凭借自己的独特的能量转化特性，在微机电系统中大方异彩。
        微流体作为微机电系统（MEMS)一个典型代表，它在药物输送、燃料喷射、细胞分离、电子元件冷却、微量化学分析及微小型卫星推进等方面应用广泛。微泵作为微流体元器件的核心，可实现流体输送、测量、混合、浓缩和分离，对微流体的操作控制具有重要作用。在微泵的驱动上常见的有压电驱动、静电驱动、利用双金属效应驱动，利用形状记忆效应驱动以及近几年成为热点的光驱动。相比其他的驱动，光驱动有能量清洁绿色、适用远程控制等优点而备受瞩目。
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