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    今年来许多国际厂商和国内外学者都投入到了非接触搬运技术的研究工作中。就现有非接触搬运，按其工作原理可以分为 ：磁悬浮式、电磁悬浮式、光学悬浮式、静电悬浮式、超声波悬浮式以及气动悬浮式等。无论何种非接触搬运方式，都有其优缺点，例如静电悬浮 可以保持物体的稳定悬浮状态，具有控制精度高的优点，但其可能对工件造成静电污染。超声波悬浮 不受材料的约束，但只能搬运较轻的材料且设备复杂，制造成本高。在半导体及液晶面板的生产过程中，相比于其他的非接触搬运方式，气悬浮非接触搬运具有结构简单，稳定搬运等优点。
    1.2气悬浮非接触搬运的研究现状
    1.3研究的主要内容
    本文设计开发了一个气旋式非接触搬运系统，包括系统的机械结构，气动控制回路和PLC控制程序，通过solidworks建立了系统的三文结构模型，并对主要零件进行受力分析。整个系统根据前人研究得到的气旋式非接触真空吸盘的工作特性而设计。

    2气动回路设计
    根据生产工艺流程，对其控制对象按一定顺序进行控制的回路叫做顺序控制回路，又称程序控制回路。程序控制回路按照输出反馈的不同可以分为行程程序控制回路、时间程序控制回路和数字程序控制回路等。本文的系统采用磁性开关作为反馈控制系统的运作，属于行程程序控制
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