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摘要光学自由曲面是不能通过球面或者常规非球面的方程组关系来表示的光学元件。它没有传统光学曲面的对称轴，曲率变化较大，面形的自由度更高。光学自由曲面的存在，使得在进行光学系统的设计和制作中，有效的增加了光学设计的自由度，使光学元件的使用数量大大减少，能更好的满足光学元器件的体积重量和光学质量。有效减少光程差,有利于矫正相差，提高成像质量,因此它能够很好在航空航天、天文、电子、激光、光通信领域有广阔的应用前景，在民品上亦充分应用在CD、VCD、DVD、数码设备等，在医疗和军事上也占据着极为重要的位置。
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在自由曲面的生产和使用中，自由曲面的面形受到对其测量的技术的制约。而测量过程中的系统误差是影响结果的关键，对倾斜波面非零位干涉系统中不同点源的系统误差进行标定可以缓解这一问题。21363
通过实验对倾斜波面非零位干涉系统中的441个不同点源进行测量，获得各组的标定波面，并与仿真得出的结果进行相减，获得对应点源的系统误差波面，从而使得干涉系统对于面形的测量的精度得以提高。
关键词 光学自由曲面 倾斜波面干涉 误差标定
毕业论文设计说明书（论文）外文摘要
Title Study on the calibration method of different point
Source system error tilted wavefront interferometer
Abstract
Optical freeform optical elements cannot be expressed by the equation between conventional spherical or non spherical. It has no symmetry axis of traditional optical surfaces, curvature changes, surface shape of higher degrees of freedom. Due to the existence of optical freeform surface, effectively increase the optical design of freedom, so that the number of optical elements with greatly reduced, volume weight and optical quality to meet the optical components can be better. So it can very well in aerospace, astronomy, electronics, laser, optical communication field has broad application prospects in the civilian.
The key to measuring system error process is to influence the results of inclined surface, non systematic errors of different point source zero interference system for calibration can alleviate this problem.
Measured through the experiment on 441 different inclined wave non point source zero interference system, interference wave and wave group error, and the subtraction and simulation results, the system error to obtain the corresponding point source, which makes surface measurement precision can be improved.
Keywords Freeform optics Tilted wavefront interference Error calibration
目录
毕业设计说明书（论文）中文摘要 2
毕业设计说明书（论文）外文摘要 3
1 引言 5
1.1研究背景 5
1.2国内外研究现状 5
1.3论文主要研究内容 6
2 倾斜波面非零位干涉系统 8
2.1 干涉系统的结构 8
2.2干涉系统的原理 9
3 系统误差的标定 10
3.1 误差标定的目的 10
3.2误差标定的原理 10
4 误差标定结果 13
4.1误差标定的过程 13
4.2误差标定的结果 20
总 结 32
参考文献34
1 引言
1.1研究背景
自由曲面是工程中最复杂而又经常遇到的曲面，在航空、造船、汽车、家电、机械制造等部门中许多零件外形，如飞机机翼或汽车外形曲面，以及模具工件表面等均为自由曲面。