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2) 图像的预处理：计算机利用不同的图像处理手段使图像更适用于后续的几何运算和特征提取，如对图像进行图像增强、边缘锐化、降噪等处理。
3) 图像的几何处理：由专门的图像处理软件对图像进行旋转、拼接等几何处理，使原本分块采集的小图像构成包含完整的疵病信息的大图像。
4) 图像的特征提取：处理器对包含完整疵病信息的图像进行疵病信息的识别和量化，例如疵病的种类和疵点的大小等等。然后将这些数据传送到控制程序。
5) 识别和控制：计算机部分的的控制程序根据收到的图像信息判断并得出最后结论。例如，这些数据包括疵点的尺寸是否在要求规格之内。其核心内容是特征提取。
上述的图像处理软件的算法的优劣直接决定了超光滑表面疵病检测系统的成败。
2.3 超光滑表面疵病成像特性研究
精密样品检测得到的主要疵病是划痕、麻点等，特别是划痕长度可达几十毫米，宽度可从亚微米到几十微米，相对而言检测的长度量跨度较大[2]。所以，光的散射特性被广泛的应用在对光学元件表面的疵病的检测中。根据光散射理论来分析疵病。光的散射是由于光传播时介质的一些性质(如空气的密度)的不均匀性造成的[3]。从宏观上看,就是从平行光束中移走一些能量,一部分光的传播方向发生改变,可以看作是反射、折射、色散、衍射、共振辐射等作用的综合效果[4]。
如图2.2所示：PQ为存在一疵病的入射表面，我们发现通常疵病的截面类似于一个“V”型的凹坑，其尺寸是比入射光波的波长大的，因此当光波入射到其表面上会产生镜面反射。法线N2N2’为不含有疵病的超光滑表面的法线，N1N1’为疵病中截面的一条法线。根据光的反射定律，当光线照射在不含有疵病的表面上时，入射光线AO2在正常表面PQ上反射，反射光线为O2A”,而当光线照射在含有疵病的表面上时，沿着AO2的入射光线AO1发生镜面反射，O1A’即为反射光线。由此我们可以发现，超光滑表面疵病所产生的散射光就是由一系列类似于O1A’的反射光线所组成的，这些光线偏离于无疵病表面的主反射光线。因此我们在接下来的超光滑表面疵病成像采集系统中，利用显微成像系统，使得表面疵病所产生的散射光线进入数字CCD显微成像系统，而保证主反射光线不进入该成像系统中[5]。在最终的成像结果中，不含有疵病的表面并没有散射光，呈现出一幅暗背景，含有疵病表面的散射光进入显微成像系统，在暗背景下呈现出明亮的疵病特征，更为重要的是，这类明暗相间的疵病图像，非常有利于后期的疵病图像处理、疵病特征提取等等[5