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    摘要：此毕业论文设计是设计一款利用光的干涉原理测量表面粗糙度的仪器。此仪器主要分为4大块，分别为X方向、Y方向、Z方向以及工作台。X和Y方向使用伺服电机、联轴器、滚珠丝杠、螺母座、轴承、轴承座连接起来形成一个机械传动结构。另外在螺母座上安装了位移传感器，将数据传至PC来控制伺服电机驱动器，形成闭环系统以便调整位移精度。而在工作台通过三个直线压电马达伸缩来微调工作台的角度。在Z方向部分，设计了多块过渡板将直线导轨、压电马达、CCD、共干涉光路、镜头连接在一起。光学部分通过使用光干涉而形成干涉条纹的原理，加上光程上的不同形成的相位差值，通过计算从而获得粗糙度值。27937
    毕业论文关键词：光的干涉；粗糙度；非接触，
    The Design Non-contact Roughness Measurement System
    Abstract:   
    This thesis is to design a design by optical interference principle of surface roughness measurement instrument. This instrument is mainly pided into four large pieces, respectively, X direction, Y direction, Z direction, and workbench. X and Y direction servo motors, couplings, ball screw, nut seat, bearings, housings are connected to form a mechanical transmission structure. Also in the nut seat position sensor is installed, the data is transmitted to the PC to control the servo motor driver, a closed loop system to adjust the displacement accuracy. In the telescopic table to fine-tune the angle of the table by three linear piezoelectric motor. Section in the Z direction, design a multi-block transition plate linear guides, a piezoelectric motor, CCD, a total optical interferometer lens together. The optical part is formed by using the optical interference fringe principle, coupled with different retardation value of the optical path is formed by calculating the roughness values thus obtained. Keywords: light interference; roughness; non-contact ;
     目录   
    一 绪论    1
    1.1 目的要求    2
    1.1.1课题的任务内容    2
    1.1.2原始条件及数据    2
    1.2课题的重点    2
    1.3课程的难点    2
    二 方案选择    3
    2.1 光学测量    3
    2.1.1 基于光学散射原理的测量技术    3
    2.1.2 基于光学干涉原理的测量技术    3
    2.1.3 光切法    3
    2.1.4 散斑法    3
    2.1.5 像散测定法    4
    2.1.6  AFM    4
    2.1.7 散射光角分布法    4
    2.1.8  X射线漫散射法    5
    2.2 方案介绍    6
    三 X方向部分设计    7
    3.1 驱动装置的选择    7
    3.2 滚珠丝杠    7
    3.2.1 滚珠丝杠的选择    8
    3.2.2 滚珠丝杠支撑方式的选择    9
    3.2.3 滚珠丝杠计算    11
    3.3驱动装置的选择    11
    3.4 联轴器的选择    11
    3.5轴承的选择    11
    3.6 直线导轨    12
    3.6.1 直线导轨选择    12
    3.6.2导轨计算    12
    四 Y方向部分设计    13
    4.1 驱动装置的选择    13
    4.2 滚珠丝杠    14
    4.2.1 滚珠丝杠的选择    14
    4.2.2 滚珠丝杠支撑方式的选择    14
    4.2.3 滚珠丝杠计算    14
    4.3驱动装置的选择    14
    4.4 联轴器的选择    14
    4.5轴承的选择    14
    4.6 直线导轨的选择    14
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