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微机电系统技术作为高新技术，它的产生和发展与各个学科领域的跨学科融合，以及工业发展的迫切需求有关，其中关系最为密切的是固态传感器和半导体集成电路技术的不断发展，以上因素综合作用共同促进了MEMS技术近些年来的繁荣发展。另一方面，许多知名大学、众多研究机构也逐渐意识到MEMS技术的重要性，纷纷组建研究团队开始MEMS技术的开发、研究。同时军事科学对MEMS技术的紧迫需求，缩短了微机电技术的分析、设计到加工方法等从研究理论到实用产品的转化周期。67199
1987年，美国NSF启动第一个MEMS研究计划，其后美国DARPA每年大额资助其发展，还出资2400万美元支持将MEMS技术从实验室带入军事应用的三年计划。日本是对MEMS研究支持力度最大的国家，它于1989年成立微型机械研究会，并于1991年确立了一项为期10年的、总投资250亿日元的“微型机械技术”大型研究开发计划，研究、开发用于病情诊断、微细手术及飞机引擎和原子能设备等微小裂纹的探测和维修的微型机械。这两项举动对世界的微型传感器、微执行器和微系统的发展产生重要影响。论文网
中国的MEMS研究起步较晚，1992年微型机械制造基础理论和基础技术研究被国家自然科学基金列为重点资助项目。1994年国防科工委成立了国防系统MEMS专家委员会，并筹建了上海交通大学和北京大学两个微机械加工基地。由于国家在“九五”计划期间的大力支持，中国已有70多家科研单位和大学从事这一领域的研究，并取得较为突出的成果。