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早在1938年，德国人Frieser在照相底片分辨率实验时用了傅里叶处理方法。
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1946年，杜弗分析光学系统时运用了傅里叶变换的处理方法，从此形成了一种新的成像理论，促进了傅里叶变换在光学中的应用，并为光学传递函数提供了理论基础。
1948年，赛尔温检验光学系统和光学材料时用了正弦试验物。30634
同年，赛德第一次提出用光学传递函数来评价光学系统成像质量的观点[2]。他实验中用了一个声带作为近似的正弦物，并提出了运用光电方法对光学像进行傅里叶处理。但是当时这些实验都很麻烦，而且精度低，理论上也不完善，所以人们没有普遍接受光学传递函数的概念。论文网
50年代，英国的Hoppkins就关于光学传递函数理论发表了几篇重要文章。在这些文章中，他向人们完整地说明了光学传递函数的概念，并提出光学传递函数作为评价像质的指标，并充分说明了其优点。
1954年，林特贝格系统地提出测量光学传递函数可用扫描方法，为测量光学传递函数奠定基础，自此之后光学传递函数得到科学家的充分重视。
1962年8月，第751届国际光学会议在慕尼黑举行。会上“光学传递函数”这个名词被正式采用。
七十年代以后，高精度光电测试技术的改进和大容量高速数字计算机的发展促使光学传递函数的计算和测量日趋完善。人们也逐渐认可了光学传递函数评价像质，而且应用在了很多领域。相应地，各国也对光学传递函数的基础标准和系列应用标准进行了规定。到80年代，光学传递函数得到了广泛的应用[3]。
我国也从70年代起，就应用光学传递函数测量和评价光学系统像质方面进行了大量的研究，并在1984年研制出了XCH-2型光学传递函数测量仪，在1992年成功研制出H1红外内焦面光学传递函数测量仪[4]。