X波段等离子滤波器建模与仿真(3)

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现在等离子体技术在工业领域中开始变得越来越成熟，这项技术的应用开始被应用与芯片加工、工业、现代通讯、生活、生物医学等方面。

近年来等离子体制膜逐步变为深亚微米非常大的集成芯片加工重要一步，到现在为止微电子工业在全球上的销售总额已经高达上千亿美元，在微电子器件设备上有超过1/3成功采用等离子体技术，可以代表的“奔腾”芯片的半导体处理器上很多繁琐生产过程中，数据显示1/3以上都是等离子刻蚀技术。这项技术的优势高刻蚀速率、高纵横比、微观不均匀性小、高选择比、高各向异性、成为微电子、精密加工盒新材料的执掌技术。

最近几年里，化学领域开始出现石油资讯紧张&水源一天比一天少的巨大压力所以环保是当下势在必行的举措，现在无污染工业生产技术备受关注及重视，被列为首选的是绿色等离子合成技术。上世纪中期，通过等离子实验人们发现从未有过的化学反应，首次成立等离子体化工体系，在这期间最令人瞩目的是无机材料合成方面的成就。上世纪末期，在欧、日、美等一些发达国家和地区开始兴起等离子绿色工艺。

等离子体应用在通讯领域已经不陌生了，较远的有短波通讯还有天线开关管最近的有等离子电视盒等离子微波镜等

自称上世纪开始，信息化不断加速发展和情报科学提高一些武器的生产能力，不断发展能很好的提高武器平台，如一些坦克、雷达、等隐形技术，成为全球众多国家发展重心。当中以等离子体这一项“超材料”为重中的基础，各国的研究重点放在隐形技术和系统。等离子体技术的隐形技术的重要原理表现：等离子发生器和发生片，在武器表面会产生等离子云，通过实验研究的特种参数，实验证实照射到等离子云上会被雷达波吸收和改变传播方向。

生物领域中，伴随着材料科学的特别的聚合物的发展，为医学界在性能和结构上提供了贡献，开始适用于更多新兴材料上，也开始慢慢的取代人体的内部器官方面发展。在等离子技术上有着非常独特的优点应用于在高分子的聚合物材料上，大大的促进了材料的表面上的粘结度，会控制材料的将解读，反而耐磨性非常好，也大大提高了本身材料的生物的相容性。

1.2.3 等离子体微波元件的研究

二战中，对雷达的研究促进了微波技能的飞速生长，也为微波的遍及应用创造了条件。微波等离子体作为微波应用的一个紧张方面，开始研究与四十年月末和五十年月初，其时，麻省理工学院的科学家W.P.Allis, S.C.Brown, D.J.Rose和A.D.MacDonal起首对微波气体放电的物理机制举行了细致研究，由于条件的限定，以及物理机制的庞大性，对微波等离子体研究的深度还不敷，到六十年月末，由于微波等离子等离子体在质料形成及处置处罚，阐发化学，光谱学，激光，火箭驱动等方面的遍及应用，使得微波等离子体的研究成为新的热门。其时，妨碍微波等离子体遍及应用的一个紧张方面是只能在很小体积内得到微波等离子体，这是由于微波放电电路要求放电尺寸同微波的空间波长雷同或更小。脉冲功率技能和相对电子束技能的长足前进和生长使人们又重新开始研究等离子体器件。与此同时，高能量的强留电子储备遍及应用到种种微波器件如相对论速调管，相对论返波管，相对论性波管等重，得到了更大功率的微波输出。等离子体转变了慢波布局的电动力学特性。论文网