CCD的应用主要有两大类:一类是在电子计算机或其他数字系统中用作信息储存和信息处理,如用作延时器等,另一类才是用于摄像器件。这种装置与真空摄像管的主要区别在于它把光电转换、信号储存及读取三个部分都集中在一个支撑片上,成为一个全固体摄像器件。
与真空摄像器件相比,CCD成像器件具有体积小、结构简单、功耗小、成本低、等优点,正得深入发展和广泛应用,如彩色、微光、红外摄像器件,现正在军事探测、气象观测、天文观察、火灾警报、闭路监控等领域发挥着巨大的作用。源:自/751-·论,文'网·www.751com.cn/
2.1 MOS结构特征
从结构上讲,CCD是由众多排列的非常紧密的 MOS 电容器组成。MOS电容即是指金属(metal)-氧化物(oxidation)-半导体(semiconductor)组成的电容器,常被称为MOS电容或者MOS结构。
制作方法是在P型硅半导体作衬底(CCD 一般是以 P型硅为衬底)的表面氧化生成一层厚度约为100nm~150nm的SiO₂,再在SiO₂的表面上蒸镀一层金属(比如铝),在衬底和金属的电极间再加上偏置电压(栅极电压),这样就构成了一个MOS电容,如图1所示。
MOS电容结构
由于MOS结构实际是一个电容器,故在金属与半导体间加上电压后,在金属与半导体向对的两个面上就要充放电。两者所带的电荷符号相反且电荷数相等,但是电荷分布却不同。由于半导体中自由载流子密度较低,故不像一般电容器一样电荷分布在一个原子层的厚度范围内,而是分布在一定厚度的表面层内,此带电表面层称为空间电荷区。
2.2 CCD的工作原理
2.2.1 光电转换
当光线照射到MOS电容上时,光子穿过透明电极和氧化层,进入到P型硅衬底中。
这时有两种情况:若入射光子的能量小于半导体禁带宽度,则不产生电子-空穴对;若入射光子的能量大于半导体禁带宽度,则位于衬底价带中的电子在吸收光子的能量后发生跃迁,形成电子-空穴对,在电场的作用下分别向两极移动,产生光生电荷。
由此可知,为使器件适用于不同的场合(即不同的光谱特性),可以通过改变衬底材料来实现。
2.2.2 电荷存储文献综述
在P 型硅衬底中,空穴是多数载流子。在栅极电压非正偏电压前,衬底中空穴的分布是均匀的,如图2(a)。
当栅极上施加正偏压时(此时正偏压小于半导体阈值电压),空穴就被排斥,表面处的空穴浓度将比体内的空穴浓度低,表面层的负电荷基本上与电离受主杂质浓度相等。这种状态称为耗尽,此表面层称为耗尽区,也就是空间电荷区,如图2(b)。
当正偏压进一步增大(此时正偏压大于半导体阈值电压),表面处电子的浓度将超过空穴的浓度,则会形成与原来半导体衬底导电类型相反的一层,称为反型区