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摘要本课题针对高能激光应用，研究光学器件在强激光照射下的可靠性。将使用干涉仪等设备，实时监测不同光学元件（透射或反射等）在百瓦级到千瓦级激光束照射下的变化情况；使用白光轮廓仪等检测光学元件表面在激光照射前后的损伤情况及热变形。通过实验确认不同元器件的承载能力以保障相关实验的安全。21408
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关键词：高能激光；激光损伤；光学元件热变形
毕业论文设计说明书（论文）外文摘要
Title Testing study on laser bearing capacity of the Optical components
Abstract
In view of the high energy laser application,we will study on reliability of optical devices in the strong laser irradiation.It will use the interferometer equipment etc,real-time monitoring of different optical elements (transmission or reflection) to change from the hundred watt to kilowatt laser irradiation;using white light profilometer tests optical surface in damage and heat deformation before and after the laser irradiation.Experiments confirm the bearing capacity of the different components in order to ensure the safety of related experiments.
Keywords: high energy laser；laser damage；The thermal deformation of optical elements
目 次
1 绪论 1
1.1 背景简介 1
1.2 国内外研究状况 1
2 激光损伤与热变形机理及测试仪器 3
2.1 激光损伤与热变形机理 3
2.2 快速测量与动态干涉仪 4
2.2.1 动态干涉仪 4
2.2.2 动态干涉仪的快速测量 5
2.2.3 动态干涉仪的优点及其应用 6
2.3 白光轮廓仪 7
2.4 本章小结 8
3 实验与测试 9
3.1 实验准备 9
3.1.1 激光系统 9
3.1.2 样品的准备（样品的基本状况） 9
3.2 粗糙度的定义及高能激光系统对表面的要求 10
3.2.1 表面粗糙度 10
3.2.2 高能激光系统对表面的要求 10
3.3 强激光照射过程及粗糙度测试结果 10
3.3.1 光学元件上镀HF膜层 10
3.3.2 光学元件上镀SiO2膜层 12
3.3.3 小结 14
3.4 强激光照射过程中热效应实验 14
3.4.1 光学元件面形对光学系统的重要性 14
3.4.2 镀膜为HF的光学元件面形 15
3.4.3 镀膜为SiO2的光学元件面形 16
3.4.4 小结 18
3.5 本章小结 18
结论 19
致谢 20
参考文献 21
1 绪论
1.1 背景简介
众所周知，随着激光能量的不断提高，对物质或器件的破坏作用的问题越来越突出，且随着激光的应用范围越来越大，也引起了人们对激光日益广泛的重视。
因此人们对此开展了专门的研究。而激光多数应用在光学实验中，其中光学元件是任何一个用于形成光路，组成光学或者跟光学有关的仪器。因此深入研究强激光对光学元件的破坏具有特殊意义。
所以光学元件在强激光照射下，其可能出现表面损伤等不可逆变化、也可能出现面形的改变等可恢复变化。这些变化将会影响到激光束的传播过程甚至造成事故，因此进行相应的研究是必须的。由于高功率激光的作用,光学器件在应用环境中的热变形对光学仪器的整体性能产生重要影响,利用分析像差对光学器件进行热变形分析,为器件设计提供科学依据和有效支持。如果研究出成果，将会对要在强激光下做的光学实验有很大的帮助。因此进行该项研究有很重大的意义。