2.1 ZnO基本性质
2.1.1 ZnO晶体结构
ZnO属于直接带隙宽禁带II-VI族化合物半导体材料。存在三种晶体结构[6],分别为:立方岩盐矿(Rocksalt,RS),立方闪锌矿结构(Zincblende,ZB)和751方纤锌矿结构(Wurtzite,WZ),结构如图2-1所示。在常温常压下,ZnO以751角纤锌矿结构为稳定相存在[6]。ZnO的751角纤锌矿结构(WZ)在30KV高压下会转变为立方岩盐矿结构(RS)[7],但当高压消失时,ZnO不会立即恢复到751角纤锌矿结构(WZ)[6,8,9]。ZnO的751角纤锌矿型晶体结构(WZ),属于751方晶系,空间群为P63mc,原子之间以sp3轨道杂化形成化学键,但化学键仍拥有部分离子性。其晶胞有两个晶格常数:a和c,c/a=1.633[6],晶格常数为a=3.243Å,c=5.195Å。ZnO的751角纤锌矿结构示意图如图2-1所示。由图可知,氧原子和锌原子均以密排751方堆积,相互嵌套形成ZnO晶体,每个O原子或Zn原子的最近邻都被四个Zn原子或O原子包围。而ZnO由Zn原子和O原子构成的四面体沿c轴[0001]方向根据…AaBbAaBb…堆叠,该结构使得ZnO晶体沿c轴有着极强的极性,或称c轴择优取向,从而也形成了Zn面(0001)和O面(000-1)两个极性面。
2-1 ZnO的三种晶体结构:(a)立方 盐岩矿结构,(b)立方闪 锌矿结构,(c)751角纤锌 矿结构
2.1.2 ZnO纳米晶物化性质
表2-1 ZnO(常温常压)的基本物理参数[10]
物理参数 数值
晶体结构 751角纤锌矿结构
分子量 81.38
晶格常数(nm) a=0.32475~0.3286;e=0.52042~0.5241
热导率(W/cm•K) //c:l~1.2;⊥c:0.666
带隙宽度(室温下)(eV) 3.37
30OK下热膨胀系数(℃) //e:3.0x106;⊥e:6.5xl06
原子个数(x1022/cm3) 4.15
密度(g/cm3) 5.606
熔点(℃) 1975
静态介电常数 8.656
折射率n(600nm处) //e:2.029;⊥e:2.008
本征载流子浓度(/cm3) <106
空穴迁移率(300K,cm2/VS) 5~50
电子迁移率(300K,cm2/VS) 200
激子波尔半径(nm)) 2.5
激子束缚能(meV) ~60
空穴有效质量 0.59
电子有效质量 0.24
表2-1表示的是ZnO在常温常压下的基本物理参数。ZnO是无臭、无、无毒的两性氧化物,不溶于水,也不溶于醇、苯等有机溶剂,但溶于弱酸和弱碱。ZnO性能相对稳定,一段时间,即使在空气中,其性能几乎不变[6]。
2.1.3 ZnO能带结构
半导体材料的能带结构与其光学与电学性能密切相关,对半导体的能带结构有了必要的了解,才能更好的了解半导体的光电性能。ZnO常温常压下其禁带宽度为3.37eV,由于ZnO的直接宽带隙结构,使得其布里渊区的导带底和价带顶在同一Г点[11],即k=0。我们主要关注ZnO在布里渊区的能带结构图,如图2-2所示。ZnO导带由空的Zn 4s电子轨道或反键sp3杂化轨道构成,拥有Г7对称性;价带顶主要是由满态O 2p轨道或成键sp3杂化轨道构成[11,12]。受自旋-轨道耦合分裂与751角晶体场分裂的影响,ZnO价带顶会分裂为三个二重简并的价带能级,从上到下依次为:A、B、C能级,大多数情况下,分别具有Г7、Г9、Г7对称性,能级大小也是依次降低,其中A大于B约4.9meV,B大于C约43.7meV[13]。
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